國家大基金二期布局半導體設備零部件的最新動向，讓國內設備零部件企業再次站上風口。
3月31日，萬業企業(600641.SH)公告稱，大基金二期、上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業(有限合伙)擬向公司參股子公司浙江鐠芯分別增資3.5億、0.4億元。本次增資后，大基金二期持股17.284%。資料顯示，浙江鐠芯持有鐠芯控股73.11%股權，鐠芯控股則持有全球領先的半導體設備零部件供應商Compart100%股權。
Compart是全球極少數可完成流量控制領域零組件精密加工全部環節的公司之一，產品主要包括氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質量流量控制器(MFC)等，是集成電路行業中高端MFC組件的領先者，在中國深圳及馬來西亞庫林擁有兩座工廠。
值得注意的是，這是大基金首次布局半導體設備零部件環節。事實上，已有多家A股上市公司進軍半導體設備零部件領域，國內半導體設備零部件行業真的迎來春天了嗎？
晶圓廠擴產拉動半導體設備及零部件需求
全球缺芯潮之下，晶圓廠不斷擴產，投資額也不斷拉高。
據不完全統計，臺積電、三星、SK海力士、英特爾、中芯國際、華虹半導體等晶圓廠在近兩年都有不同規模的新增產能投入。國際半導體產業協會(SEMI)估計，2021年中國大陸的芯片廠房建設投資有望創下180億美元歷史新高，2022年將進一步提升至270億美元，同比增長50%。
SEMI預測，2021年全球半導體設備市場規模將達953億美元，同比增長34%；2022年這一數字有望達到1013億美元，同比增長6%；2020-2022年復合增長率(CAGR)達到19%。
據悉，目前全球半導體零部件市場主要包括兩部分：一是全球半導體設備廠商定制生產或采購的零部件及相關服務。VLSI數據顯示，2020年半導體設備子系統市場銷售規模接近100億美元，其中維修和支持服務占46%，零部件產品銷售占32%，替換升級占22%；二是全球半導體制造廠直接采購的作為耗材或備件的零部件及相關服務。
從市場格局來看，美國、日本公司在半導體設備零部件方面處于壟斷地位。據ICWorld2020公開的20類半導體核心零部件產品的44家主要供應商，其中美國供應商有20家，約占45%，日本供應商16家，約占36%。此外，還有2家德國供應商、2家瑞士供應商、2家韓國供應商、1家英國供應商。
雖然第一財經此前調研發現，國內半導體設備廠和半導體制造廠更傾向于使用本土零部件，但據光大證券，目前國產半導體設備零部件企業的技術能力、工藝水平、產品精度和可靠性與海外差距較大，整體國產化率僅為10%-30%，尤其是在Compart相關的流量控制領域，之前的國產化率幾乎為零。
不過，目前本土半導體設備零部件廠商在鈑金件、金屬件、腔體等一些技術壁壘相對容易突破的領域已經完成了一定程度的國產化，甚至海外頭部半導體設備廠商出于成本優化的考量，也會向本土廠商采購相應的零部件。
另據芯謀研究，2020年中國大陸晶圓廠直接采購零部件金額超過10億美元。剔除三星等海外廠商在我國的產線，中芯國際、華虹集團、長江存儲、合肥長鑫等國內晶圓廠直接采購零部件金額約4.3億美元。
多家上市公司布局半導體設備零部件
目前國內已有多家企業布局半導體設備零部件環節，包括英杰電氣(300820.SZ)、萬業企業、新萊應材(300260.SZ)、靖江先鋒、晶盛機電(300316.SZ)、江豐電子(300666.SZ)等。
英杰電氣主要供應設備用功率控制器、射頻電源等，配套MOCVD、藍寶石爐、碳化硅設備等。2017年，公司實現PD系列可編程直流電源的大批量生產和替代，成為國內為數較少的能夠生產該類電源產品的供應商，也是現階段國內MOCVD設備主要制造商中微半導體境內MOCVD電源的供應商。
資料顯示，MOCVD(薄膜沉積)設備是LED制造中最重要的設備，占LED生產線近50%成本。此前MOCVD設備市場一直由海外企業主導(德國AIXTRON、美國VEECO)。
萬業企業2020年12月通過聯合收購新加坡Compact布局半導體零部件業務。Compact主營業務包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、MFC質量流量控制器、焊接件，核心客戶包括UCT、ICHOR等，終端客戶包括應用材料和泛林半導體等。目前Compact收入規模在1億美元左右。
新萊應材主營半導體產品為構成高潔凈流體管路系統和超高真空系統之關鍵組件，包括真空室、泵、閥、法蘭、管道和管件等，客戶包括美商應材、LAM、北方華創、中微半導體等。公司還于2019年底發行可轉債募資2.8億元加大投入半導體氣體系統。
此外，中微公司(688012.SH)全資子公司中微惠創具備廢氣處理裝置的制造能力；北方華創全資子公司北方華創微電子2020年收購關聯方北廣科技持有的射頻應用技術相關資產，在電氣類零部件方面，北廣科技具備一定的可編程電源、射頻電源生產能力。
在半導體關鍵輔材耗材方面，晶盛機電建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導體閥門、管件、磁流體、精密零部件為主的產品體系。其已向客戶批量銷售32英寸合成坩堝，并研發了36英寸石英坩堝。
江豐電子半導體零部件主要布局PVD機臺用ClampRing、Collimator，CVD、etching機臺用faceplate、showerhead等，化學機械研磨機臺用金剛石研磨片、RetainingRing等。
天風證券認為，半導體設備零部件受到下游晶圓廠擴產拉動設備采購需求的影響，同時本土半導體設備廠商也有零部件國產化的需求，看似行業增長邏輯清晰，但考慮到設備零部件種類繁多，本土設備零部件是否能真的迎來行業春天，還要取決于設備廠商的國產化率提升速度，以及相關產業鏈公司的技術實力。
(馮麗君)